講演情報
[21p-P15-3]Heフリー短パルスCO2レーザーによるポリイミドの加工
〇大川 亮1、宇野 和行1、渡會 翔平2、児玉 康司1,2、米谷 和幸2 (1.山梨大学、2.精電舎電子工業)
キーワード：
CO2レーザー,ポリイミド,レーザー加工
高繰り返し・高出力動作可能なHeフリーCO2レーザーを使用しテール付き短パルスとテールフリー短パルスの2種類のレーザーパルス波形によるポリイミドの切断加工が調査された。走査速度の調整により白色への変色，黒色への変色，切断の3種類の変化が見られた．白色の変色では導電性はなかった．黒色の変色ではサンプルに導電性があったため，炭化であった．切断面では黒色の変色が見られたが，導電性があるものとないものがあった．