講演情報
[21p-P15-8]ナノ薄膜レーザー加工技術の高度化
〇小林 哲郎1、上杉 祐貴1、小澤 祐市1、佐藤 俊一1 (1.東北大多元研)
キーワード：
微細加工
我々はこれまでに、フェムト秒レーザーを用いた薄膜微細加工技術の開発に取り組んできた。本研究では、レーザー照射系および試料ステージ系を統合的に自動制御化することで、本技法の高度化に挑戦した。その結果、短時間での多くの加工が可能になり、アブレーション閾値などの加工パラメータの調査を効率的に行うことが可能になった。加えて、従来は困難だった複雑な形状の加工も、実現できるようになった。