[21p-P16-1~12] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[21p-P16-12] 真空蒸着Pd膜上共鳴格子を用いたグースヘンシェンシフト計測による水素センサ

〇(M2)清水 裕貴¹、王 暁勇¹、水谷 彰夫¹、菊田 久雄¹ (1.大阪公大工)

キーワード：

水素センサ,微細加工,光学式センサ