[21p-P16-1~12] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[21p-P16-4] イメージングエリプソメトリーによる計測可能な最大膜厚

〇金 蓮花¹、北村 賢功¹、近藤 英一¹、ジェローズ ベルナール² (1.山梨大工、2.名古屋大理)

キーワード：

イメージングエリプソメトリー,薄膜計測