講演情報
[21p-P19-4]フォトニック結晶導波路モジュールを用いた空間電荷検知(Ⅱ)
～４チャンネル動作～
〇大塚 亘晟1、石原 歩2、菊永 和也3、高橋 和1 (1.大阪公大院工、2.大阪府大院工、3.産総研)
キーワード：
フォトニック結晶,空間電荷,センシング
現在我々は，シリコンフォトニック結晶素子を用いた小型空間電荷センサの開発を行っている．前回は単一の小型センサを用いた空間電荷検知の実証を報告したが，今回は複数地点（４チャンネル）で同時に空間電荷が検知できるたのでそれを報告する．光源はSLDを１つ使用し，ファイバースプリッターで４つに分波させ小型センサに光を入射した．シリコン素子に空間電荷が入ると透過光の強度が落ち帯電を検知できる．