[21p-P23-1~12] 9.4 熱電変換

[21p-P23-6] PLD法によるマグネリ相チタン酸化物の成膜

〇松橋 泰我¹、山口 博之¹、小宮山 崇夫¹、長南 安紀¹、小谷 光司¹、布田 潔²、菅原 靖³、関根 崇³、杉山 重彰⁴ (1.秋田県立大学、2.秋田大学、3.秋田産業技術センター、4.秋田県産業労働部)

キーワード：

マグネリ,チタン酸化物,薄膜

二酸化チタンは光触媒として有名であるが、二酸化チタンに酸素欠損を導入することでマグネリ相へ変化する。マグネリ相は高い電気伝導率と低い熱伝導率がバルク焼結体で報告されており、熱電変換材料として期待できる。我々はSPS法により準備したターゲットを用いたPLD法でマグネリ相の成膜を試みた。講演ではターゲットの酸素含有量や成膜時の酸素圧力が薄膜物性に与える影響について報告する。