[22a-A201-1~12] CS.8 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

11:00 〜 11:15

[22a-A201-8] 強誘電性HfO₂の分極反転機構

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.自由業、2.産総研)

キーワード：

強誘電体

強誘電性HfO₂の分極反転機構についてはわかっていないことが多い。今回は実験的に報告されている結果と最近の理論的アプローチの報告に基づいて、その分極反転機構について議論する。