講演情報

[22a-A202-10]ニホウ化アルミニウムの結晶成長と窒素還元反応評価

〇梨本 一樹1、堀口 佳子2、熊谷 明哉3,4,2,5,6、岡田 健1 (1.東北大院工、2.東北大AIMR、3.東大IEI、4.PRESTO-JST、5.東北大院環境、6.東北大CSIS)

キーワード:

窒素還元反応,二ホウ化アルミニウム,RFマグネトロンスパッタ