[22a-A202-1~11] 17.3 層状物質

9:30 〜 9:45

[22a-A202-3] Sb₂Te₃層状膜によるMoS₂上低抵抗コンタクトの実現

〇張 文馨¹、畑山 祥吾¹、齊藤 雄太¹、岡田 直也¹、遠藤 尚彦²、宮田 耕充²、入沢 寿史¹ (1.産総研、2.都立大)

キーワード：

MoS2,Sb2Te3,ファンデルワールス