[22a-A202-1~11] 17.3 層状物質

11:15 〜 11:30

[22a-A202-9] スパッタMoS₂ 膜に対するエッジ金属コンタクトの電流電圧特性

〇今井 慎也¹、梶川 亮介¹、川那子 高暢¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、辰巳 哲也¹、冨谷 茂隆¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：

二硫化モリブデン,スパッタリング,エッジコンタクト