[22a-A304-1~10] 6.4 薄膜新材料

9:45 〜 10:00

[22a-A304-4] 低温下でのエアロゾルデポジション法によるゴム部材への緻密セラミック成膜

〇後藤 拓¹、松林 康仁¹、明渡 純¹ (1.産総研)

キーワード：

セラミック成膜,低温成膜