[22a-A307-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[22a-A307-2] チタン酸バリウム系積層セラミックコンデンサの劣化解析に向けたSCFMによるキャリア分布観測

〇角 真輝¹、大山 祐生¹、佐藤 宣夫¹ (1.千葉工大)

キーワード：

積層セラミックコンデンサ,走査型容量力顕微鏡

積層セラミックコンデンサ (MLCC) は、直流電圧の印加によって絶縁抵抗が低下し、経年劣化及び故障に至る．その際，誘電体中の酸素空孔が電界によって移動することに起因するとされている 。一方、絶縁劣化に関する現象解明のためのモデル化とその立証には、MLCC 内部の酸素空孔の移動の様子を捉える必要がある。そこで本研究では、走査型静電容量力顕微鏡法 (Scanning Capacitance Force Microscopy; SCFM) を具備した多機能プローブ顕微鏡を用いて、MLCC 内部のキャリア分布を観測した。観測結果から、誘電体層で酸素空孔の移動が要因と考えられる、キャリアの分布が画像化された。