講演情報

[22a-A307-8]デジタルフィルタによる低域通過型逆システム構成法を用いたスキャナ応答の改善

〇宮下 和己1、渡邉 信嗣2 (1.金沢大・数物、2.金沢大・WPI-NanoLSI)

キーワード:

走査型イオンコンダクタンス顕微鏡,フィードフォワード制御