講演情報

[22a-B101-3]アンモニアを用いたFace-to-faceアニールによるInGaNの気相マストランスポート

〇中田 敦士1、佐々木 彩乃1、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1 (1.山口大院・創成科学)

キーワード:

窒化インジウムガリウム