[22a-B205-1~11] 12.1 作製・構造制御

9:00 〜 9:15

[22a-B205-1] Hf_0.5Zr_0.5O₂絶縁膜上へのTIPS-ペンタセン塗布成膜

河野 裕太^1,2、北村 太慈¹、小池 一歩^1,2、丸山 伸伍³、〇廣芝 伸哉^1,2 (1.大阪工大・工、2.大阪工大・ナノ材研、3.東北大・院工)

キーワード：

強誘電体ゲート絶縁膜,TIPSペンタセン

本研究では、溶液プロセスで成膜可能なTIPS-Pentaceneを溶液法で作製したHf_0.5Zr_0.5O₂薄膜上に成膜し、有機半導体層の結晶性や表面モルフォロジーを評価しFeFETへの応用可能性について詳細に調査した。熱処理150℃，15分条件では結晶化に由来するTIPSペンタセンの回折ピークが確認された。また結晶化に伴う表面構造凹凸構造の変化がAFM測定で確認された。