講演情報
[22a-C402-5]SiNx 光回路上 Hf0.5Zr0.5O2不揮発性位相シフタのヘテロ集積の検討
〇(M1)藤谷 諭史1、山下 大貴1、一色 秀夫1 (1.電通大)
キーワード：
不揮発性位相シフタ,HZO,強誘電体
光量子コンピュータや機械学習、ニューロモルフィックなどの用途で、FPGAのように再構成が可能である光集積回路の研究が行われている。再構成可能な光演算回路の機能を最大限に発揮するためには、不揮発性が不可欠な構成要素となる。本研究では、HZOの強誘電性に着目し、SiNx 光回路にヘテロ集積可能なHZO装荷 SiNx導波路光位相シフタを作製・評価するとともに、プログラマブルで超低消費電力な大規模集積位相シフタの可能性を検討する。