講演情報
[22a-C601-9]レーザー分子線堆積によるハライドペロブスカイト太陽電池構造のall-in-one-chamberプロセス開発
〇深野 創太1、陳 敬丰1、佐藤 知正1、松木 伸行1 (1.神奈川大工)
キーワード：
ペロブスカイト太陽電池,レーザー分子線堆積
本研究は，レーザー分子線堆積法（LMBD）によって電子輸送層／ペロブスカイト層／正孔輸送層を高真空中で一貫して作製するペロブスカイト太陽電池のall-in-one-chamberプロセス開発を目指し，マスクパターニングによるデバイスプロセスについて検討を行った．