[22p-A304-1~6] 6.4 薄膜新材料

13:00 〜 13:15

[22p-A304-1] TiO₂(001)基板上のVO₂薄膜における成膜条件と格子歪の関係

〇村岡 祐治¹、中本 歴²、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院自然科学)

キーワード：

VO2/TiO2(001),格子歪,レーザー出力

TiO₂(001)基板上に作製したVO₂薄膜では、成膜時のレーザー出力により面内格子歪の大きさが変化することを紹介する。