[22p-A306-1~22] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

13:00 〜 13:15

[22p-A306-1] 高周波マグネトロンスパッタ法により作製されたClover-Flower-Like Carbonの物性評価

〇時任 勇大¹、佐々木 勇太²、古閑 蒼一郎²、青野 祐美¹ (1.鹿大理工院、2.鹿大工)

キーワード：

ナノカーボン,高周波マグネトロンスパッタ法

アモルファスカーボン（a-C）薄膜作製の過程において，偶然，球状カーボンが発見された．この球状カーボンは，円錐型の炭素構造体が集まった構造をしており，シロツメクサに似ていることから，Clover-Flower-Like Carbon（CFL-C）と名付けた．本研究では，高周波マグネトロンスパッタ法の各パラメータを変化させて，CFL-C合成を試み，得られたCFL-Cの形状や化学的結合状態を調べた．