講演情報
[22p-A306-15]C60 pyrrolidine tris acid薄膜による縦型構造素子の抵抗スイッチ特性
〇(M2)平馬 拓真1,2、菅 洋志1,2、塚越 一仁2,1 (1.千葉工大、2.物材機構)
キーワード：
フラーレン,抵抗スイッチ
フラーレンの重合・解重合をSTMにて抵抗スイッチ効果を導出できることが報告されている。我々は、フラーレンを薄膜とした二端子素子を作製することで二値の抵抗変化を確認したものの、導電経路の形成に必要である電子線照射工程や微細化に課題が見つかった。そこで、本研究では、フラーレン薄膜を上部電極及び下部電極で挟み込む構造素子の創成を行い、素子の作製行程確立や構造最適化、抵抗変化特性を明らかにした。