講演情報
[22p-A309-6]SEM中の局所プラズマ照射による水素脆化き裂発生過程の観察
〇八田 章光1、富松 宏太2、大村 朋彦2、小林 憲司2、青木 貴浩2 (1.高知工科大、2.日本製鉄)
キーワード：
マイクロプラズマ,水素脆化
SEMの試料室に、先端がマイクロオリフィスであるステンレス製ノズルを通して、水素ガスを局所的にジェット状に供給し、試料室に取り付けたターボポンプで差動排気して水素ガスを流しながら高真空でのSEM観察を行う。ノズルにパルス高電圧を印加してノズル（陽極）と試料（グランド・陰極）間で局所的なマイクロ放電水素プラズマを生成する。水素プラズマ照射したことにより、金属試料で水素脆化によるき裂の発生を確認した。