講演情報
[22p-A311-5]配向性セラミックスの誘電・圧電特性
〇真岩 宏司1、向 宇1、山下 洋八1,2 (1.湘南工大工、2.ノースカロライナ州立大)
キーワード:
圧電体,配向,セラミックス
米国QorTek社製配向性セラミックスTX101から、配向面に対して水平方向と垂直方向に切り出した試料を評価した。USAの配向面に対して水平方向と垂直方向に切り出した試料を評価した。各面のX線回折(XRD)パターンを測定しています。水平面は(100)面に対して強く配向している。また、走査型電子顕微鏡により、断面では水平方向に5〜20μmの結晶粒が配列していることが確認された。水平方向の試料は誘電率が小さくなる傾向がある。圧電d33定数は、今のところ、水平試料で803pC/N、垂直試料で565pC/Nと得られている。