講演情報
[22p-A501-1]非線形振動分光法による固体表面ナノアモルファス層の観測
〇(M2)吉澤 龍1,2、櫻井 敦教1,2,3、杉本 敏樹1,2,3 (1.総研大、2.分子研、3.理研播磨)
キーワード：
非線形分光,非晶質,表面
本研究では、高感度かつ表面敏感な非線形振動分光法を新規に開発し、固体表面のナノアモルファス層の測定に適用した。その結果、熱酸化によりSi表面に形成したアモルファスSiO2層をはじめとした、既存手法では検出困難なナノメートルオーダーの表面アモルファス層の観測に成功した。また本計測手法によりアモルファスSiO2の化学的活性に関与する員環構造分布の測定が可能になり、ナノアモルファス層の構造と物性の関連付けを目指す。