[22p-A501-1~16] 6.5 表面物理・真空

15:30 〜 15:45

[22p-A501-10] 電子線アシスト顕微鏡の蛍光薄膜配置による分解能向上

〇細見 圭¹、柴 俊平²、中村 篤志^1,2、居波 渉^1,2、川田 善正^1,2 (1.静岡大電研、2.静岡大院)

キーワード：

蛍光薄膜,分解能,EXA顕微鏡