[22p-A602-1~17] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

17:30 〜 17:45

[22p-A602-17] NDIR法を用いた真空中のカーボンナノチューブ成長過程のCO2ガス濃度分析

〇朴 商云¹ (1.摂南工大)

キーワード：

非分散型赤外線吸収法,カーボンナノチューブ

CVD法を用いたカーボンナノチューブ成長におけるCO2ガス濃度測定で、真空中のNDIR法の応用を試みた。