講演情報
[22p-B202-10]薄板LiNbO3/SiC構造における板波共振特性の解析
〇渡邉 紀之1、垣尾 省司1 (1.山梨大院)
キーワード：
板波共振子,ニオブ酸リチウム薄板,Lamb波
次世代通信システムでは弾性波RFデバイスに高性能化が求められる．近年の，圧電基板と複層接合させ薄板化する技術の進歩に伴い，薄板化された圧電基板による板波モードの研究も多く報告されている．本報告では新たに薄板LiNbO3基板にSiCを接合した新構造における板波モード共振特性を詳しく検討した．その結果，実効電気機械結合係数が29%になるSH0 mode 共振子と同じく21%のS0 mode 共振子を得た．