講演情報
[22p-B202-8]横波型弾性表面波センサの有限要素法での評価
〇(M2)太田 雄大1、近藤 淳1 (1.静岡大)
キーワード：
横波型弾性表面波センサ,有限要素法
横波型弾性表面波センサは粘度，密度，誘電率，導電率の測定に用いられる．従来，数値解析法や摂動法による評価が行われてきた．これらの手法はセンサ構造に対する評価が難しい．本稿では有限要素法解析で得た速度変化が数値解析法と一致することを確認した．この比較により有限要素法によるセンサの評価が可能であることを明らかにした．今後は接合構造の検討など，センサ構造の最適化を行う．