講演情報
[22p-B205-10]有機膜を用いた金属蒸着選択性 －金属原子脱離の支配因子とメタルパターンのマスクレス蒸着形成－
〇辻岡 強1 (1.大阪教育大学)
キーワード：
金属蒸着選択性,表面自由エネルギー,フッ素系有機表面
金属蒸着選択性は、マスクレス蒸着で金属パターンが形成可能な有膜表面の機能である。従来フォトクロミック・ジアリールエテンを用いてMgやPbなどの蒸着選択性を報告してきたが、AgやCuでは実現できなかった。今回、小さな表面エネルギーの分散成分を有し且つ柔軟な表面を有するPerfluoropolyether系材料が多種の金属原子に対してこの機能を示すことが判明した。この材料を用いて、多種の金属種に対するメタルパターンのマスクレス蒸着形成を実証した。