講演情報
[22p-B205-14]ZnOナノワイヤ上における有機-無機多層構造の合成と熱耐性評価
〇(M1)三田村 紗江1、小野 赳1、細見 拓郎1、斉藤 光2、池内 みどり2、劉 江洋1、長島 一樹3、高橋 綱己1、田中 航1、金井 真樹1、柳田 剛1,2 (1.東大院工、2.九大先導研、3.北大電研)
キーワード：
有機無機多層構造,原子堆積法,自己組織化単分子膜
有機薄膜と無機層をナノレベルの厚さで積層した有機-無機多層構造は、その特異な物性から近年注目されている。一方で、原子層レベルでの精密な構造制御や評価が必要なため、その作製方法や物性は発展途上の段階にある。本研究では、自己組織化有機単分子膜（SAM）上の親水性官能基を出発点とした金属酸化物の原子層堆積法（ALD）を用いた有機-無機多層構造体の合成手法開発を行い、得られた多層構造体内部のSAM膜の熱耐久性を調査した。