講演情報
[22p-B205-7]有機-金属酸化物超格子設計における界面相互作用
〇(M2)小野 赳1、三田村 紗江1、細見 拓郎1、斉藤 光2、池内 みどり2、劉 江洋1、長島 一樹3、高橋 綱己1、田中 航1、金井 真樹2、柳田 剛1,2 (1.東大院工、2.九大先導研、3.北大電研)
キーワード：
自己組織化単分子膜,原子層堆積
有機薄膜(SAM)及び金属酸化物からなる有機-金属酸化物超格子を作製した。SAMを形成する有機材料として末端官能基の異なる脂肪族ホスホン酸分子を独自に合成し活用し、また金属酸化物堆積に原子層堆積(ALD)を利用した。SAM及びをALDプロセスを系統的に変調し、IR法、QCM法並びにSTEM観察により多角的に評価することで、有機-金属酸化物超格子作製において重要な要件を明らかにした。