[22p-P01-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-P01-4] 水素プラズマによるマグネシウム系材料の水素化とその改善

〇荻野 明久¹、今田 紫苑¹ (1.静大工)

キーワード：

水素化ホウ素ナトリウム,水素化マグネシウム,マイクロ波プラズマ