セッション詳細
[22p-P01-1~10]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2023年9月22日(金) 13:30 〜 15:30
P01 (熊本城ホール)
[22p-P01-1]ZnO薄膜のミストCVD合成における窒素水素混合ガスプラズマによる支援効果
〇茂籠 柚喜1、竹田 圭吾1、平松 美根男1 (1.名城大理工)
[22p-P01-2]DLC成膜用炭化水素ガスの有効利用を目的とした低圧RFプラズマ特性に及ぼす投入電力依存性の数値解析
〇(M1)石原 卓也1、佐々木 瞬1、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大工、2.岐阜大工)
[22p-P01-3]DC運転およびパルス運転による反応性マグネトロンスパッタリングを用いた水蒸気プラズマの生成
〇井上 晋作1、カタパング アレン1、和田 元1 (1.同志社大理工)
[22p-P01-4]水素プラズマによるマグネシウム系材料の水素化とその改善
〇荻野 明久1、今田 紫苑1 (1.静大工)
[22p-P01-5]有機化合物添加による AZ91D の PEO 処理および皮膜評価
〇(M2)古賀 涼真1、武村 祐一朗1 (1.近大院総理工)
[22p-P01-6]大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入
〇(P)井上 健一1、近藤 隆1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大低温プラズマ科学研究センター)
[22p-P01-7]プラスチック材料の大気圧プラズマ処理における表面改質効果の駆動周波数依存
〇(BC)野沢 拓登1、知久 颯馬1、坂本 翔馬1、山田 大将1 (1.長野高専)
[22p-P01-8]大気圧プラズマが天然繊維織物の染色に及ぼす影響
〇(BC)坂本 翔馬1、野沢 拓登1、知久 颯馬1、山田 大将1 (1.長野高専)
[22p-P01-9]プラズマプロセス装置外付け実装型負荷インピーダンスモニタリング手法の開発
〇笠嶋 悠司1、國家 真治2、佐山 俊幸2 (1.産総研、2.アドバンテスト)
[22p-P01-10]水蒸気プラズマによるポリスチレン系ポリマーの除去
山地 恭平1、〇山本 雅史1、Khant Nyar Paing2、相澤 洸2、石島 達夫2、堀邊 英夫3 (1.香川高専、2.金沢大、3.大阪公立大)