セッション詳細
[22p-P01-2]DLC成膜用炭化水素ガスの有効利用を目的とした低圧RFプラズマ特性に及ぼす投入電力依存性の数値解析
〇(M1)石原 卓也1、佐々木 瞬1、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大工、2.岐阜大工)
[22p-P01-3]DC運転およびパルス運転による反応性マグネトロンスパッタリングを用いた水蒸気プラズマの生成
〇井上 晋作1、カタパング アレン1、和田 元1 (1.同志社大理工)
[22p-P01-6]大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入
〇(P)井上 健一1、近藤 隆1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大低温プラズマ科学研究センター)
[22p-P01-10]水蒸気プラズマによるポリスチレン系ポリマーの除去
山地 恭平1、〇山本 雅史1、Khant Nyar Paing2、相澤 洸2、石島 達夫2、堀邊 英夫3 (1.香川高専、2.金沢大、3.大阪公立大)