講演情報

[22p-P03-4]レーザーマーカを用いたGe-on-Insulator(111)の作製と歪みSiGe再成長

〇櫻井 優一1、高松 海夕1、佐野 汐音1、金澤 伶奈1、菊岡 柊也1、井上 貴裕1、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学)

キーワード:

絶縁膜上のゲルマニウム,シリコンゲルマニウム