2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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[22p-P03-5]
Ge-on-Insulator (100)上のSiGe/Ge多重量子井戸の作製と結晶性および光学特性評価
〇佐野 汐音
1
、金澤 怜奈
1
、櫻井 優一
1
、澤野 憲太郎
1
(1.東京都市大学)
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キーワード:
酸化膜上のゲルマニウム,多重量子井戸
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