近年、誘電体ナノ粒子におけるMie共鳴を応用したナノ光学（Mietronics）が注目されている。強いMie共鳴が得られる高屈折率の誘電体は、表面格子共鳴（SLR）を利用した蛍光体の発光増強や発光指向性制御などが可能なナノアレイの材料として有用である。本研究では、近紫外域において高い屈折率と透明性を有する3C-SiC結晶薄膜からナノ粒子アレイを作製する方法を検討し、その光学特性を評価した。