講演情報
[22p-P06-3]窒化銅薄膜への熱処理がヨウ素エタノール溶液浸漬でのヨウ化銅薄膜の形成に及ぼす影響
〇苔縄 隼人1、金子 哲也1、磯村 雅夫1 (1.東海大院工)
キーワード：
半導体,薄膜
我々は、ヨウ化銅の作成において窒化銅薄膜をヨウ素エタノール溶液に浸漬させてヨウ素化を行ってきた。しかしこの手法においては、出発材料となる窒化銅薄膜の状態がヨウ化銅の形成に与える影響は未解明の点が多い。今回、窒化銅薄膜を成膜後にプレアニール処理を施した後、ヨウ素エタノール溶液でヨウ素化することで、アニール処理がヨウ化銅薄膜の形成や特性に与える影響について調査した。