講演情報

[22p-P10-17]ナノコラムLEDにおける連続的なITO電極形成技術

〇進藤隆太¹、赤川広海¹、山口智広¹、尾沼猛儀¹、野村一郎^2,3、本田徹¹、富樫理恵^2,3、岸野克巳² (1.工学院大、2.上智大ナノテク、3.上智大理工)

ナノコラム,デバイスプロセス