講演情報
[23a-A301-3]大気圧非平衡プラズマ生成に与える電圧パルスの立ち上がり時間の影響
〇中野 俊樹1、北嶋 武1 (1.防衛大電気電子)
キーワード：
大気圧プラズマ,パルス立ち上がり時間,発光分光法
本報告では、高速繰り返し短パルス電圧と狭ギャップ電極系を用いたプラズマ生成においては、パルス電圧の立ち上がり時間がプラズマ生成に及ぼす影響を検討する。立ち上がり時間を90 nsから50 nsに減少させることによって、プラズマ生成時の投入エネルギーは約60 %に減少した。一方、電子温度は約18 %、O原子密度は約60 %増加することがHeおよびOの発光分光分析から示唆された。