講演情報
[23a-A301-9]軸方向磁場を印加したホローカソードからの直流放電電圧に対する磁場分布およびダイヤモンド電子放出層の効果
〇宮崎 久生1、吉田 学史1、木村 重哉1 (1.東芝RDC)
キーワード：
プラズマ源,ホローカソード,ダイヤモンド
負の電子親和力による高い電子放出効率、イオン衝突耐性、高融点、高熱拡散性といったダイヤモンドの特性を生かしたプラズマ源の開発を行っている。前回、Mo円筒内壁にホウ素ドープダイヤモンド(BDD)を成膜したホローカードへの軸方向磁場の印加による大電流・低電圧放電を報告した。今回、磁場の最適化やBDDの効果によりホローカソードモードへの遷移に必要な電圧を低減し、低ガス圧でのホローカソード放電を実現した。