講演情報

[23a-A602-2]絶縁基板上のSi薄膜の固相成長に与えるSn添加効果

〇花房 佑樹1、岡本 絋汰1、佐道 泰造1 (1.九大システム情報)

キーワード:

半導体,SiSn