講演情報
[23a-B101-5]トンネル接合を用いたEu添加GaNおよびInGaN量子井戸LED
多色積層マイクロLEDの実証
〇田中 研気1、石原 聡啓1、市川 修平1,2、館林 潤1、藤原 康文1 (1.阪大院工、2.阪大電顕)
キーワード：
トンネル接合,Eu添加GaN,マイクロLED
次世代のディスプレイ技術として近年マイクロLEDが注目されている。
本研究では、積層型マイクロLEDディスプレイの実現に向けて、InGaN量子井戸LEDとGaN:Eu赤色LEDの多色積層マイクロLEDを、トンネル接合コンタクトを用いて作製した。GaN:Eu LEDおよびInGaN量子井戸LEDは良好な整流性を示し、明瞭な発光が観察された。InGaN量子井戸LEDとGaN:Eu赤色LEDの多色積層マイクロLEDのマイクロLED集積においても、トンネル接合の利用が有用な手法であることが示している。
本研究では、積層型マイクロLEDディスプレイの実現に向けて、InGaN量子井戸LEDとGaN:Eu赤色LEDの多色積層マイクロLEDを、トンネル接合コンタクトを用いて作製した。GaN:Eu LEDおよびInGaN量子井戸LEDは良好な整流性を示し、明瞭な発光が観察された。InGaN量子井戸LEDとGaN:Eu赤色LEDの多色積層マイクロLEDのマイクロLED集積においても、トンネル接合の利用が有用な手法であることが示している。