講演情報
[23a-B101-9]一括転写技術に向けたマイクロLED中空構造のゲート部の最適化
〇(M2)北出 泰己1、西川 敦2、Loesing Alexander2、白井 雅紀3、小林 宏樹3、関口 寛人1 (1.豊橋技大、2.ALLOS、3.ULVAC)
キーワード：
マイクロLED,転写技術,中空構造
我々はマイクロLEDの中空構造形成技術および熱剥離シートを用いた一括転写技術を確立することで，生体埋め込み型LEDフィルムを実現した。熱剥離シートを用いてLEDを一括ではがす際に中空構造を支えるゲート部を折ることになるが，ゲート領域の切断面が安定せず，ゲート部の残存やゲート付近の欠損によるLED有効面積の低下が課題となっていた。そこで，本研究では中空構造のゲート部の最低化を行ったので報告する。