講演情報
[23p-A301-14]永久磁石を用いた高周波磁化ホロー陰極放電による高密度水素プラズマ生成とその空間分布の計測
〇内田 武志1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
キーワード：
高密度プラズマ,ホロー陰極,イオン飽和電流
水素プラズマは表面処理や成膜などのプラズマプロセスや中性粒子ビーム注入源などにおいて、重要な役割を果たしている。一方、容量結合型プラズマCCPは機能性薄膜の作製に広く用いられている。しかし、CCPのプラズマ密度が低いことが課題となっており、生産性に影響を及ぼしている。その解決のためには、高密度水素プラズマ生成法が必要である。本研究では、これまで、高密度水素プラズマ生成を実現させるために、ホロー電極と永久磁石を用いて高周波(RF)磁化ホロー陰極放電装置を構築した。今回は、ホロー陰極内及び電極近傍におけるイオン飽和電流の空間分布を測定した結果を報告する 。