2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.1 プラズマ生成・診断

[23p-A301-1~14]8.1 プラズマ生成・診断

2023年9月23日(土) 13:00 〜 16:45
A301 (熊本城ホール)
竹田 圭吾(名城大)、 松田 良信(長崎大)
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13:00 〜 13:15

[23p-A301-1]電極埋設するためのカーリングプローブの電磁共鳴部の調査

〇(M2)紀平 侑樹1、中村 圭二1、小川 大輔1 (1.中部大工)
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13:15 〜 13:30

[23p-A301-2]プラズマ中の電子密度計測のためのカーリングプローブのアンテナデザインの最適化

〇(M2)加藤 翔太1、中村 圭二1、小川 大輔1 (1.中部大工)
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13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[23p-A301-3]トモグラフィック発光分光計測によるプラズマ診断におけるチャンバ内壁反射光が電子温度・電子密度診断に及ぼす影響

〇(DC)山下 雄也1,2、土居 謙太3、清田 哲司3、菊地 航行1、石 健太1、渡邊 修平1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東工大、2.学振DC、3.アルバック)
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13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[23p-A301-4]交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測

〇(M2)高橋 良輔1、鬼頭 聖弥1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
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14:00 〜 14:15

[23p-A301-5]光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたプラズマプロセス中のシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定

〇後藤 隆之介1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大先進理工)
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14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[23p-A301-6]非線形回路解析のための高調波分光法の開発とプラズマ曝露下でのプラズマ・材料特性同時計測への応用

〇両角 潤樹1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
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14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[23p-A301-7]窒素／水素混合低ガス圧小型ECRプラズマにおける窒素原子密度とアンモニア生成レートの関係

〇(M2)植林 彰吾1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
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15:00 〜 15:15

[23p-A301-8]時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析

〇横山 英佐1、堀内 楓1、高橋 勇成1、中川 悠幹1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
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15:15 〜 15:30

[23p-A301-9]負イオンエネルギー分布関数計測に及ぼす磁化 RFEA の磁界強度の影響

〇松田 良信1、金堀 洋輔1、早川 誠一1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
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15:30 〜 15:45

[23p-A301-10]スパッタリングターゲットからの負イオン放出：Al添加ZnOとCuの比較

〇松田 良信1、早川 誠一1、金堀 洋輔1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
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15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[23p-A301-11]小型マグネトロンプラズマのアレー状配置型高周波マグネトロンスパッタ源に及ぼす磁石位置の影響

〇(M2)升永 龍之介1、大津 康徳1 (1.佐大理工)
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16:00 〜 16:15奨励賞エントリー

[23p-A301-12]円筒対向ターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマ生成に及ぼす磁石配置の影響

〇近藤 文太1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
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16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[23p-A301-13]フッ素樹脂ターゲットを用いた高周波マグネトロンプラズマの空間分布計測

〇久野 凌平1、大津 康徳1、安永 健2、池上 康之2 (1.佐大理工、2.佐大海洋エネ研)
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16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[23p-A301-14]永久磁石を用いた高周波磁化ホロー陰極放電による高密度水素プラズマ生成とその空間分布の計測

〇内田 武志1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
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