TiO2は、有機薄膜太陽電池の活性層とエネルギーのアライメントがよい事などから電子輸送層として利用されているが、酸化物表面に出現する構造欠陥の一部は活性層と反応し、太陽電池の性能を劣化させることが知られている。性能劣化を防いで良好な電子特性を達成するためには欠陥がもたらす電子状態変化を明らかにする必要がある。本研究では加熱条件を変化させたときにもたらす構造変化と電子状態の変化との関連性について探る。