講演情報

[23p-A311-6]Pドープ/Bドープ poly-Si薄膜の熱電特性評価

〇(M2)柴田 啓介1、加藤 慎也2、黒澤 昌志1、後藤 和泰1,3,4、宮本 聡1、伊藤 孝至1、宇佐美 徳隆1,5、黒川 康良1 (1.名大院工、2.名工大院工、3.新潟大工、4.新潟大IRCNT、5.名大未来社会創造機構)

キーワード:

半導体,シリコン,熱電発電