セッション詳細

[20a-A401-1~2]8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

2023年9月20日(水) 9:45 〜 10:45
A401 (熊本城ホール)
伊藤 昌文(名城大)

[20a-A401-1][第21回プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測

〇豊田 浩孝1、市川 景太1、チュ マンフン1、森山 誠1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2 (1.名大工、2.キオクシア(株))