2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)13 半導体：13.3 絶縁膜技術

[24p-P12-1~3]13.3 絶縁膜技術

2024年3月24日(日) 16:00 〜 18:00
P12 (9号館)
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[24p-P12-1]深層学習型汎用原子間ポテンシャルを用いたシリコン酸窒化膜の弾性特性に及ぼす組成の影響の探索

〇宮崎 桜子1、小川 京悟1、榊間 大輝1、泉 聡志1 (1.東大工)
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[24p-P12-2]エタノール蒸気を添加したNH3ガスによる低温酸化Si膜中残留OH基量の低減効果

〇堀田 將1 (1.北陸先端大)
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[24p-P12-3]SiNx膜とSiOx膜中のイオン・分子のサイト間移動の活性化エネルギー

〇奥 友希1、戸塚 正裕1、佐々木 肇1 (1.三菱電機)
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