薄膜形成加工装置

[N-41] (株)アライズテクノロジー
#これだけでたくさんの論文が書けます!

(株)アライズテクノロジー

■低温スパッタリングカソード

住所816-0905
福岡県大野城市川久保2-9-7
TEL092-513-0370
FAX092-513-0371
Webサイト・SNS https://arise-tec.com/
[P-70] ALDジャパン(株)
#Control Atoms!

ALDジャパン(株)

■1. Anric Technologies社製原子層堆積装置(プラズマ式、熱式、粉体オプション、MLD対応)とオゾン発生機 ■2. Meaglow社製ホローカソードプラズマユニット

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
Webサイト・SNS https://aldjapan.com/
[P-74] (株)エピクエスト

(株)エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Kセル ■KOHエッチング装置

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
FAX075-693-3356
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp
[N-43] (株)エリオニクス
#創業50周年を迎えます

(株)エリオニクス

■電子ビーム描画装置、ECRイオンビーム装置、超微小押し込み硬さ試験機、およびアプリケーションデータ

住所192-0063
東京都八王子市元横山町3-7-8
TEL0426-26-0611
Webサイト・SNS https://www.elionix.co.jp/
[N-42] キーストンサイエンティフィック(株)

キーストンサイエンティフィック(株)

■LB膜作製装置及びブリュースター角顕微鏡

住所170-0002
東京都豊島区巣鴨1-4-7 MKビル4階
TEL03-6912-1535
Webサイト・SNS http://www.keystone-scientific.co.jp/
[P-65] ケニックス(株)
#へぇ~、10-2Paでスパッタできるんやって!

ケニックス(株)

■【実機展示】圧力勾配式スパッタ装置 ■プラズマクラッキングセル ■PGSスパッタカソード、その他

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15-501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[N-22] コーンズテクノロジー(株)
#ダイヤモンドが拓く、次世代デバイス革命

コーンズテクノロジー(株)

■4インチダイヤモンド基板 ■各種ダイヤモンド成膜装置 ■マイクロ波プラズマCVD&熱フィラメントCVD

住所135-0006
東京都江東区常盤2-14-18
TEL03-6774-7060
FAX03-6661-9319
Webサイト・SNS https://cornestech.co.jp/
[P-73] (株)サクラクレパス
#プラズマ処理効果を「色」で簡単に評価!

(株)サクラクレパス

■プラズマインジケータ「PLAZMARK」

住所578-0901
大阪府東大阪市加納7-18-47
TEL072-873-5507
FAX072-875-5527
Webサイト・SNS https://plazmark.craypas.co.jp/
[P-33] 三桜工業(株)
#次世代半導体材料受託基板加工サービス

三桜工業(株)

■当社は次世代半導体材料GaN・SiC・AlNなどの基板研磨加工や基板再生利用加工の受託加工サービスを提供しております。長岡技術科学大学との共同研究により、高品質な表面をつくることを可能としました。研磨加工に関してご質問等ございましたら、お気軽にご相談ください。

住所150-0002
東京都渋谷区渋谷3-10-13 TOKYU REIT 渋谷Rビル5階
TEL050-5474-0485
Webサイト・SNS https://www.sanoh.com/
[P-72] 産総研ナノプロセシング施設
#共用施設で微細加工・分析評価!

産総研ナノプロセシング施設

■産総研の共用施設ナノプロセシング施設他を紹介するポスター、パンフレット、試作サンプルを展示します。

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央事業所2群
TEL029-862-6716
Webサイト・SNS https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
[P-80] サンユー電子(株)
#コア技術で研究開発の未来を切り拓く

サンユー電子(株)

■デスクトップRFスパッタ装置 SVC-700RFIII ■マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/ Adexcel ■イオンミリング装置 SVM-741、他

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp/
[P-82] JSWアフティ(株)

JSWアフティ(株)

■成膜装置紹介パネル ■成膜サンプル

住所236-0004
神奈川県横浜市金沢区福浦2-2-1
TEL045-787-7241
Webサイト・SNS https://jsw-afty.co.jp/
[N-46] (株)信光社

(株)信光社

■酸化物単結晶基板およびサファイア製品

住所247-0007
神奈川県横浜市栄区小菅ケ谷2-4-1
TEL045-892-4739
FAX045-892-2986
Webサイト・SNS https://www.shinkosha.com/
[P-113] (株)スプリード

(株)スプリード

■ゲートバルブ ■アングルバルブ ■チャンバー ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp/
[P-57] TNSシステムズ(同)

TNSシステムズ(同)

■小型アタッチ式ラマンセンサー ■顕微ラマンシステム ■YAGレーザー薄膜加工システム ■電気計測関連装置および部品 ■数A~10,000A 大電流コネクタ ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[P-57] TPTジャパン(株)

TPTジャパン(株)

■独TPT社製 卓上型ワイヤボンダ機(カタログ出展) Wire Bonder machine ■韓PLASOL社製 卓上型プラズマ洗浄機PS-150(装置出展) Plasma Cleaner

住所224-0003
神奈川県横浜市都筑区中川中央2-5-13 メルヴューサガノビル4階
Webサイト・SNS https://www.tpt-japan.com/
[P-83] テクノプリント(株)
#技術の萬屋(ぎじゅつのよろずや)

テクノプリント(株)

■成膜済ガラス ■くし歯パターン ■めっきパターン

住所356-0054
埼玉県ふじみ野市大井武蔵野1396-3
TEL049-263-3487
Webサイト・SNS https://technoprint.co.jp/
[P-68] 東ソー(株)

東ソー(株)

1) GaNターゲット:高配向性GaN膜をスパッタ法で形成可能な高純度・高密度GaNターゲットです。 2) Si添加GaNターゲット:スパッタ法で低抵抗のn-GaN膜を形成可能なGaNターゲットです。 3) CrSiターゲット:高抵抗率かつ温度安定性に優れた薄膜を形成可能です。 4) 酸化インジウムをベースとしたスパッタリングターゲット①USR:ITOでは達成困難な100℃で結晶化し低抵抗を示します。②SRE:赤外線高透過率と低抵抗率を両立可能です。 5) AlScターゲット:高スカンジウム(Sc10,20,40at%)・高密度AlScターゲットです。

住所104-8467
東京都中央区八重洲2-2-1 ミッドタウン八重洲 八重洲セントラルタワー
TEL03-6636-3739
FAX03-6636-3607
Webサイト・SNS https://www.tosoh.co.jp/product/?category=functionality
[P-69] 日本セミラボ(株)
#”Only One”の技術でお客様の期待と想像を超えていきます

日本セミラボ(株)

TBD

住所222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6階
TEL045-620-7960
Webサイト・SNS https://www.semilab-j.jp/
[P-53] 日本電子精機(株)
#シングルミクロンのパターニングが可能な転写技術

日本電子精機(株)

■卓上型印刷試験機

住所639-0235
奈良県香芝市良福寺46-1
TEL0745-77-6951
FAX0745-77-6950
Webサイト・SNS https://jemflex.co.jp/
[P-67] (株)ハイテック・システムズ

(株)ハイテック・システムズ

■Annealsys社製 高速熱処理(RTP)装置 ■NEOCERA社製 パルスレーザー蒸着(PLD)装置 ■Plasmionique社製 熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製 原子層堆積(ALD)装置

住所220-0011
神奈川県横浜市西区高島1-1-2 三井横浜ビルディング19階
TEL045-36-9780
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[P-117] (株)Found Four
#1台の装置でALD及びPVD処理対応可能

(株)Found Four

■ALD装置(原子層堆積装置)

住所231-0004
神奈川県横浜市中区元浜町3-21-2 ヘリオス関内ビル
TEL045-222-6410
FAX045-222-6405
Webサイト・SNS https://found-four.co.jp/
[P-57] (株)プリウェイズ

(株)プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1 物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[P-81] Beneq(株)
#フィンランド発ALD装置プロバイダー

Beneq(株)

■TFS200/TFS500:R&D用ALD装置 ■P400A/P800:バッチ式大量生産装置 ■Spatial ALD(C2R、Genesis):空間分離型ALD

住所222-0033
神奈川県横浜市西区みなとみらい4-4-2 横浜ブルーアベニュー12階
TEL045-274-5273
Webサイト・SNS https://beneq.com/
[P-84] 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
#ARIMが加速するマテリアルイノベーション

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)

■マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)では、全国の大学、研究機関が保有する最先端の計測・分析、加工プロセス設備と技術を皆さんへ提供いたします。ブースではARIM事業の概要と利用方法、利用事例などを紹介します。

住所001-0021
北海道札幌市北区北二十一条西10丁目 北海道大学 創成科学研究棟03-301
TEL011-706-9333
Webサイト・SNS https://nanonet.go.jp/
住所606-8501
京都府京都市左京区吉田本町 京都大学工学部物理系校舎327号室
TEL075-753-5656
Webサイト・SNS https://nanonet.mext.go.jp/