2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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薄膜形成加工装置

[N-41] （株）アライズテクノロジー
#これだけでたくさんの論文が書けます！

（株）アライズテクノロジー

■低温スパッタリングカソード

住所816-0905
福岡県大野城市川久保2-9-7
TEL092-513-0370
FAX092-513-0371
Webサイト・SNS https://arise-tec.com/
[P-70] ALDジャパン（株）
#Control Atoms!

ALDジャパン（株）

■1. Anric Technologies社製原子層堆積装置（プラズマ式、熱式、粉体オプション、MLD対応）とオゾン発生機 ■2. Meaglow社製ホローカソードプラズマユニット

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
Webサイト・SNS https://aldjapan.com/
[P-74] （株）エピクエスト

（株）エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Kセル ■KOHエッチング装置

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
FAX075-693-3356
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp
[N-43] （株）エリオニクス
#創業50周年を迎えます

（株）エリオニクス

■電子ビーム描画装置、ECRイオンビーム装置、超微小押し込み硬さ試験機、およびアプリケーションデータ

住所192-0063
東京都八王子市元横山町3-7-8
TEL0426-26-0611
Webサイト・SNS https://www.elionix.co.jp/
[N-42] キーストンサイエンティフィック（株）

キーストンサイエンティフィック（株）

■LB膜作製装置及びブリュースター角顕微鏡

住所170-0002
東京都豊島区巣鴨1-4-7　MKビル4階
TEL03-6912-1535
Webサイト・SNS http://www.keystone-scientific.co.jp/
[P-65] ケニックス（株）
#へぇ～、10-2Paでスパッタできるんやって！

ケニックス（株）

■【実機展示】圧力勾配式スパッタ装置 ■プラズマクラッキングセル ■PGSスパッタカソード、その他

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15-501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[N-22] コーンズテクノロジー（株）
#ダイヤモンドが拓く、次世代デバイス革命

コーンズテクノロジー（株）

■4インチダイヤモンド基板 ■各種ダイヤモンド成膜装置 ■マイクロ波プラズマCVD＆熱フィラメントCVD

住所135-0006
東京都江東区常盤2-14-18
TEL03-6774-7060
FAX03-6661-9319
Webサイト・SNS https://cornestech.co.jp/
[P-73] （株）サクラクレパス
#プラズマ処理効果を「色」で簡単に評価！

（株）サクラクレパス

■プラズマインジケータ「PLAZMARK」

住所578-0901
大阪府東大阪市加納7-18-47
TEL072-873-5507
FAX072-875-5527
Webサイト・SNS https://plazmark.craypas.co.jp/
[P-33] 三桜工業（株）
#次世代半導体材料受託基板加工サービス

三桜工業（株）

■当社は次世代半導体材料GaN・SiC・AlNなどの基板研磨加工や基板再生利用加工の受託加工サービスを提供しております。長岡技術科学大学との共同研究により、高品質な表面をつくることを可能としました。研磨加工に関してご質問等ございましたら、お気軽にご相談ください。

住所150-0002
東京都渋谷区渋谷3-10-13　TOKYU REIT 渋谷Rビル5階
TEL050-5474-0485
Webサイト・SNS https://www.sanoh.com/
[P-72] 産総研ナノプロセシング施設
#共用施設で微細加工・分析評価！

産総研ナノプロセシング施設

■産総研の共用施設ナノプロセシング施設他を紹介するポスター、パンフレット、試作サンプルを展示します。

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1　つくば中央事業所2群
TEL029-862-6716
Webサイト・SNS https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
[P-80] サンユー電子（株）
#コア技術で研究開発の未来を切り拓く

サンユー電子（株）

■デスクトップRFスパッタ装置 SVC-700RFIII ■マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/ Adexcel ■イオンミリング装置 SVM-741、他

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp/
[P-82] JSWアフティ（株）

JSWアフティ（株）

■成膜装置紹介パネル ■成膜サンプル

住所236-0004
神奈川県横浜市金沢区福浦2-2-1
TEL045-787-7241
Webサイト・SNS https://jsw-afty.co.jp/
[N-46] （株）信光社

（株）信光社

■酸化物単結晶基板およびサファイア製品

住所247-0007
神奈川県横浜市栄区小菅ケ谷2-4-1
TEL045-892-4739
FAX045-892-2986
Webサイト・SNS https://www.shinkosha.com/
[P-113] （株）スプリード

（株）スプリード

■ゲートバルブ ■アングルバルブ ■チャンバー ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp/
[P-57] TNSシステムズ（同）

TNSシステムズ（同）

■小型アタッチ式ラマンセンサー ■顕微ラマンシステム ■YAGレーザー薄膜加工システム ■電気計測関連装置および部品 ■数A～10,000A 大電流コネクタ ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[P-57] TPTジャパン（株）

TPTジャパン（株）

■独TPT社製 卓上型ワイヤボンダ機（カタログ出展） Wire Bonder machine ■韓PLASOL社製 卓上型プラズマ洗浄機PS-150（装置出展） Plasma Cleaner

住所224-0003
神奈川県横浜市都筑区中川中央2-5-13 メルヴューサガノビル4階
Webサイト・SNS https://www.tpt-japan.com/
[P-83] テクノプリント（株）
#技術の萬屋（ぎじゅつのよろずや）

テクノプリント（株）

■成膜済ガラス ■くし歯パターン ■めっきパターン

住所356-0054
埼玉県ふじみ野市大井武蔵野1396-3
TEL049-263-3487
Webサイト・SNS https://technoprint.co.jp/
[P-68] 東ソー（株）

東ソー（株）

1) GaNターゲット:高配向性GaN膜をスパッタ法で形成可能な高純度・高密度GaNターゲットです。 2) Si添加GaNターゲット：スパッタ法で低抵抗のn-GaN膜を形成可能なGaNターゲットです。 3) CrSiターゲット:高抵抗率かつ温度安定性に優れた薄膜を形成可能です。 4) 酸化インジウムをベースとしたスパッタリングターゲット①USR:ITOでは達成困難な100℃で結晶化し低抵抗を示します。②SRE:赤外線高透過率と低抵抗率を両立可能です。 5) AlScターゲット：高スカンジウム(Sc10,20,40at%)・高密度AlScターゲットです。

住所104-8467
東京都中央区八重洲2-2-1　ミッドタウン八重洲 八重洲セントラルタワー
TEL03-6636-3739
FAX03-6636-3607
Webサイト・SNS https://www.tosoh.co.jp/product/?category=functionality
[P-69] 日本セミラボ（株）
#”Only One”の技術でお客様の期待と想像を超えていきます

日本セミラボ（株）

TBD

住所222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10　YS新横浜ビル6階
TEL045-620-7960
Webサイト・SNS https://www.semilab-j.jp/
[P-53] 日本電子精機（株）
#シングルミクロンのパターニングが可能な転写技術

日本電子精機（株）

■卓上型印刷試験機

住所639-0235
奈良県香芝市良福寺46-1
TEL0745-77-6951
FAX0745-77-6950
Webサイト・SNS https://jemflex.co.jp/
[P-67] （株）ハイテック・システムズ

（株）ハイテック・システムズ

■Annealsys社製 高速熱処理(RTP)装置 ■NEOCERA社製 パルスレーザー蒸着(PLD)装置 ■Plasmionique社製 熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製 原子層堆積(ALD)装置

住所220-0011
神奈川県横浜市西区高島1-1-2　三井横浜ビルディング19階
TEL045-36-9780
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[P-117] （株）Found Four
#1台の装置でALD及びPVD処理対応可能

（株）Found Four

■Swiss Cluster社 https://swisscluster.com/
ALD/PVDクラスター装置　バッチタイプALD装置　大型バッチタイプALD装置

住所231-0004
神奈川県横浜市中区元浜町3-21-2　ヘリオス関内ビル
TEL045-222-6410
FAX045-222-6405
Webサイト・SNS https://found-four.co.jp/
[P-57] （株）プリウェイズ

（株）プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1　物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[P-81] Beneq（株）
#フィンランド発ALD装置プロバイダー

Beneq（株）

■TFS200/TFS500：R&D用ALD装置 ■P400A/P800：バッチ式大量生産装置 ■Spatial ALD（C2R、Genesis）：空間分離型ALD

住所222-0033
神奈川県横浜市西区みなとみらい4-4-2　横浜ブルーアベニュー12階
TEL045-274-5273
Webサイト・SNS https://beneq.com/
[P-84] 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）
#ARIMが加速するマテリアルイノベーション

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）

■マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）では、全国の大学、研究機関が保有する最先端の計測・分析、加工プロセス設備と技術を皆さんへ提供いたします。ブースではARIM事業の概要と利用方法、利用事例などを紹介します。

住所001-0021
北海道札幌市北区北二十一条西10丁目　北海道大学 創成科学研究棟03-301
TEL011-706-9333
Webサイト・SNS https://nanonet.go.jp/
住所606-8501
京都府京都市左京区吉田本町　京都大学工学部物理系校舎327号室
TEL075-753-5656
Webサイト・SNS https://nanonet.mext.go.jp/