講演情報
[10a-N323-4]トモグラフィー発光分光法による減圧酸素ICP の空間分解計測
何 文涛1、清田 哲司2、土居 謙太2、中尾 裕利2、小関 智光2、内記 一宏1、Li Kangbai1、大見 俊一郎1、〇赤塚 洋3,1 (1.科学大工、2.アルバック、3.科学大研究院)
キーワード：
酸素ICP、空間分解発光分光計測、プラズマパラメーター
減圧酸素ICPに対し、トモグラフィー発光分光とアクチノメトリー計測を併用し、酸素原子基底・励起状態密度を空間分解して求め、更にセルフコンシステントに酸素原子衝突輻射(CR)モデルを適用することにより、空間分解を施した形で、電子温度・密度、酸素分子解離度を計測した。電子温度と解離度は中心部で高く、電子密度は中心部で低い値となった。中心部は負電荷としてO−イオンが存在することが一因と考えられる。